安装‧使用‧维护说明书 目 录 1. 概述 1-1风机过滤器单元 3 1-2结构及特点 4 2. 重要安全事项 2-1安装使用环境 5 2-2运送与安装 5 2-3安装‧使用注意事项 5 3. 使用说明 3-1运转前点检事项 6 3-2运转时注意事项 6 4. 维护说明 4-1日常维护 7 4-2定期维护 7 4-3故障排除 8 附 录 9 本说明书内容包含风机过滤器单元的安装‧使用‧维护‧方法,本机体是安装在洁净区域天花板上,藉由滤网捕捉室内空气中的尘埃,为能平稳且安全地发挥机体性能,使用前请详细阅读此说明书。 注:本公司为了提高产品质量和性能,在不断改进和创新中,本产品 如有更新或更改,我公司随时更改本说明书,恕不另行通知。 |
1-1风机过滤器单元 风机过滤器单元(FFU)是一种自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置。 风机从FFU顶部将空气吸入并经HEPA过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速均匀送出。广泛用于半导体、液晶制造业、电子、生物制药.等行业。 ●使用环境 ‧周围温度:5℃~40℃ ‧湿度:低于85%RH(没有湿气凝结状态下) ‧周围空气:一般室内空气 ‧清净度:100-10级 ‧请避免连续反复ON/OFF操作机体 如果在未符合上述条件的环境下使用风机滤网机组,将会影响制品性能,并可能会发生电气短路现象,造成电气部件损坏,缩短制品使用寿命。 为能安全且有效地使用风机过滤器单元请参阅第4页的〝重要安全事项〞。
图1 标准品范例 (2) 表1. 部件明称及功能(参考图1) | | | | | | | | | | | 可选优质冷轧板喷塑,镀锌铝钢板,铝板及不锈钢板等材料 | | | |
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| | | 可过滤微小粒径的灰尘 效率99.99%@ 0. 3um | | | | |
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不当使用风机过滤器单元组将会造成制品性能降低,使用时请务必遵守下列事项: 2-1 安装使用环境 ●风机过滤器单元的安装应远离加热器、火炉或其它热源。 ● 设置风机过滤器单元场所不可放置易燃物,以免发生火灾。 ● 请勿在机体附近使用具爆炸性或挥发性的化学物品,如果机体吸入这些化学物品将有可能会导致火灾或爆炸等事故发生。 ● 请勿于机体附近使用含硫酸、盐酸、漂白剂及其它具腐蚀性化学药品,如果使用这些化学药品将有可能会导致机体腐蚀及损坏。 2-2 运送与安装 ● 请在风机过滤器单元包装完好的状态下搬运制品,搬运时务必保持水平,如果使用轻便推车等工具运送时,请选用车台超过机体包装宽度的推车。 ● 机体安装后,机体上方至少须预留30公分以上的空间,以利将来机体维修,未预留足够的维修空间,机体将无法进行维修及部件更换。 ● 试运转前,请先拆除吸入口上及均流板下附着的保护膜。 2-3 安装‧使用注意事项 ●风机过滤器单元安装于无尘室时,请务必遵守下列指示 ‧当进入无尘室时 请穿着防尘衣以免携带灰尘进入室内。 请以酒精清理工具以免携带灰尘进入室内。 请以酒精清理衣柜未保护处以免携带灰尘进入室内。 点检时请使用防尘纸及原子笔作记录以免再产生灰尘。 ● 切勿直接重压风机过滤器单元机体,以免造成机体变形。 ● 请勿以沾湿的手操作机体,以免发生触电危险。 ● 请勿遮蔽机体吸入口及吹出口,机体吸入口及吹出口被遮蔽,将导致机体性能无法正常发挥,造成机体功能异常或电气部件损坏。 ● 实施第三种接地工事,以避免电击产生之危险。
3-1运转前检查事项 运转前请先检查下列注意事项: ● 机体外部电源是否连接,电源供应是否妥当。 ● 机体接地工事是否已实施。 ● 机体上方空气吸入口及下方滤网的保护膜是否已取下。 3-2运转时注意事项 (1) 开始运转 ● 当电源开启后,机体即开始运转。 ● 机体运转后请确认是否有异常现象。 当有下列情形发生,机体无法正常运转时,请向经销服务人员反映。 ● 机体内部有异物,机体离心风扇无法正常旋转。 ● 机体内部电线脱落,接头松脱。 ● 机体内部电气部件,如过电源插头、马达损坏。 (2) 停止运转 ● 运转后如发现异常现象,请即切断电源,停止机体运转。 ● 自购买日起进行定期检查,请勿自行检查,以免造成触电或火灾等事故发生。 ● 除了维修人员外,请勿自行拆解、修理或变更规格,以免造成触电或火灾的发生。 ● 当更换滤网等部件时,请注意不要损坏滤纸。 ● 维修‧点检时,请务必先切断电源,停止机器运转后再实施,以免发生触电或伤害危险。 ● 当安装‧维修‧点检完成后,在机体起动前,请确定机体基础稳固。 4-1日常维护 每天工作开始之前请依表2.点检下列各项,当发现有不正常的情形,立即切断电源并采取改正措施。 表2. 日常维护 | | | | | ‧离心风扇必须旋转平顺,没有产生异常声音,若听到异常声音,请确认送风机内有无异物以及马达轴承的声音是否异常,若马达有问题,请更换马达。 | | | | | | |
4-2定期维护 使用风机过滤器单元一段时间后,因使用环境及使用状况之差异,为了防止意外及确保风机过滤器单元的正常运转,请务必实施下列定期点检。 4-2.1定期维护 (1)定期维护项目
请依表3.所示,对风机过滤器单元实施定期点检,当部件寿命已至时,请立即进行部件更换。(部件寿命指一般使用状况下之寿命,会因使用环境及使用状况而有所差异)。 (2)当由于不可抗力(如地震、电击…..等)或化学药品的泄漏(腐蚀气体…..等)意外发生,停机再启动后,请务必实施相同的检查。 表3. 定期维护项目 | | | | | 马达 | (1)轴承损坏而使马达运转不平顺或死锁。 (2)绝缘不良造成过热、过载导致线圈烧损。 (3)电源连接或端子的绝缘不良,而造成异常发热、接地错误、层间短路…..等。 | ‧确认马达有无异音、振动及味道,用耳朵确认轴承有无异常声音。 ‧绝缘阻抗须大于5MΩ以上。 ‧检查电缆线及端子有无破损或锈蚀,更换不良部件。 | 一年一次 | 5年以上 | 离心风扇 | (1)因灰尘迭积或破损使得运转不平衡而损坏。 | ‧检查离心风扇有无异音、振动及破损,更换不良部件。 | 一年一次 | 5年 | 其它的电气部件及配线材料 | (1)绝缘不良,端子螺丝松脱而造成过热、短路或烧损。 (2)配线表皮破损而造成短路、漏电或损伤。 | ‧检查有无过热、锈蚀、暴露的导体,配线表皮破损…..等。 ‧绝缘阻抗须大于5MΩ以上。 ‧锁紧端子螺丝(每三年一次)更换不良部件。 | 一年一次 | 5年 | 滤网 | (1)因阻塞而造成风速减低。 (2)因化学药品而造成滤网材质、迫紧、阻隙材不良而使灰尘泄漏。 (3)因外部热源造成滤网材质不良。 | ‧目视检查滤网材质、迫紧、阻隙有无刮伤、褪色、变形。 ‧检查泄漏更换不良部件。 | 一年一次 | (视不同使用场所需要而定) | 外箱 及其它组件 | 因化学药品而使部件腐蚀或生锈产生灰尘。 | ‧目视检查部件有无不良、褪色….等。 | 一年一次 | 其它部件8年 |
表4消耗性部件的更换期间 ( iwuchen建议 ) 注:滤网更换期间会因不同使用场所的差异而有所不同。 4.2.2点检完成 点检完成后,清洁工作场所及确认风机过滤器单元在正常运转状况;保留点检报告,当部件更换或机体更新时作为参考。 4-3故障排除 ‧若有以下现象发生,连络本公司并告知机身编号、机型、电压及不良现象(尽可能详细),然后慎重的调查问题的起因及采取适合的改善措施。 ● 非服务技术人员请勿拆解、修理或修改风机过滤器单元,以避免造成严重的意外,例如触电或火灾。
易损件规格表: ● 当需要更换服务备品时,请务必依本说明书中表1.所列之部件名称提供予服务人员。 ● 任何未经认可之代用品,不仅可能会影响风机过滤器单元的性能,同时可能造成火灾、触电或其它危险。
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